Resten van reinigingsmiddelen

Het resultaat van een reinigingsstap wordt niet alleen bepaald door de aard van de vervuiling die verwijderd moet worden. De keuze van de oppervlakteaktieve stof (surfactant) en de frekwentie waarmee het water of de borstel vervangen wordt hebben een sterke invloed op de effektiviteit van de reinigingsstap. Vaak wordt de kwaliteit van de naspoelstap verwaarloosd. Deze stap is een van de factoren die bepalend zijn voor het achterblijven van oppervlakteaktieve stoffen op het oppervlak waardoor hechtingsproblemen kunnen ontstaan.

Een voorbeeld: Ondanks een grondige ontvettingsstap en een daaropvolgende plasmabehandeling traden hechtingsproblemen op aan een nikkeloppervlak. Om het probleem te identificeren werd de verdeling van gedetekteerde verbindingen over het oppervlak onderzocht met ToF-SIMS. Deze analyse toonde aan dat er dodecylbenzeensulfonzuur (DBSA) op het oppervlak van het gereinigde metaal aanwezig was. Deze stof werd geïdentificeerd als bestanddeel van het gebruikte reinigingsmiddel en was niet geheel van het metaaloppervlak verwijderd omdat er niet voldoende nagespoeld was. De daarop volgende plasmabehandeling kon de DBSA laag ook niet geheel verwijderen wat in de volgende processtap tot hechtingssproblemen leidde. Op basis van deze analystische resultaten kon de reiniging van de nikkelplaat worden verbeterd en nam de uitval als gevolg van hechtingsproblemen beduidend af.

U kunt de application note hier downloaden: