Reinigen van een optisch filter

De effektiviteit van een reinigingsstap in de produktie van een optisch filter werd gevolgd met ToF-SIMS. In een eerste experiment gebeurde dit door oppervlaktespectrometrie om de aard van de vervuiling op het monster voor en na de laatste reinigingsstap te bepalen. Uit de analyse bleek dat het oppervlak voor de reiniging was vervuild met triglyceriden en dodecylbenzeensulfonaat zouten. Na de laatste drop-and-wipe reiniging met aceton was de hoeveelheid van deze verontreinigingen sterk verminderd.
Deze oppervlakte spectrometrie over het gehele oppervlak gaf echter niet het gehele beeld. In een tweede experiment werd ToF-SIMS imaging in een zogenaamde macroscan mode (d.w.z.het afbeelden van de chemische samenstelling over een groter oppervlak, in dit geval 60 x 60 mm2) uitgevoerd. Nu werd op bepaalde plaatsen het dodecylbenzeensulfonaat zout nog steeds aangetoond. Andere verbindingen, zoals zuurstofhoudende koolwaterstoffragmenten werden ook, inhomogeen verdeeld over het oppervlak, aangetroffen. De Tof-SIMS analyse toonde aan dat de gebruikelijke drop-and-wipe methode als laatste reinigingsstap niet effektief was.