Elektronik und Halbleitertechnologie

Die Charakterisierung von Halbleitern, elektronischen Komponenten und Bauelementen stellt aufgrund der vielfältigen Materialien und der komplexen Herstellungsmethoden eine analytische Herausforderung dar. Gerade wegen dieser Komplexität können moderne oberflächenanalytische Techniken einen sinnvollen Beitrag in Entwicklung, Produktion und Qualitätskontrolle leisten. Folgende Fragestellungen werden routinemäßig bearbeitet:

  • Charakterisierung verwendeter Grundstoffe (Halbleiter, Polymere & Harze, Keramiken, ...)
  • Effizienz von Prozess- und Reinigungsschritten (z.B. Standzeiten von Reinigungsbädern)
  • Aufklärung von Schichtdicken und -zusammensetzung
  • Quantifizierung von Dotierstoffen
  • Nachweis von Kontaminationen
  • Haftungseigenschaften (z.B. beim Löten)
  • Kontrolle der Reinraumluft (z.B. organische Bestandteile)
  • Fleckbildung, Ablagerungen und Rückstände (z.B. nach Ätzschritten)
  • Alterung von Halbleiterstrukturen durch Diffusionsprozesse
  • “Defect Review“, ...

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