Reinigung optischer Filter

Mit Hilfe der Sekundärionenmassenspektrometrie (ToF-SIMS) wurde die Qualität von Reinigungsprozessen untersucht, die während der Produktion optischer Filter erfolgen. Zur Ermittlung der chemische Zusammensetzung der Glasoberflächen vor und nach der Reinigung wurden statische SIMS Analysen durchgeführt. Anhand der ToF-SIMS Daten wurden vor der Reinigung organische Kontaminationen wie Triglyceride und Dodecylbenzolsulfonat auf den Spezialgläsern identifiziert. Der Anteil dieser Substanzen waReinigung von Bauteilen - Erfolg einer Reinigung untersucht am Beispiel eines Laserspiegelsr nach dem am Ende der Reinigung erfolgten Abwischen mit Aceton signifikant reduziert. Dennoch wurden bei der nachfolgenden Beschichtung der Glasoberflächen punktuell Haftungsprobleme beobachtet. Daher wurde die laterale Verteilung organischer Rückstände auf gereinigten Glasoberflächen in einem zweiten Analyseschritt bildgebend auf Gesichtsfeldern von 60x60 mm² ("Makroraster") analysiert. Die hier gezeigten Sekundärionenbilder belegen, dass Salze des Dodecylbenzolsulfonats und sauerstoffhaltige Kohlenwasserstoffe auch nach der Reinigungprozedur lokalisiert nachweisbar sind. Anhand dieser und weiterer Daten wurde das Auftropfen und Abwischen von Aceton als Schwachpunkt identifiziert und durch einen effektiveren Reinigungsschritt ersetzt.